硅片檢測顯微鏡
作者:1,2,3,4,5 來源:原創 日期:2023-9-1 16:41:43 人氣:104
硅片是半導體芯片制造的基本元器件,為提高芯片質量,硅片缺陷檢測必不可少。匯光科技有專用硅片檢測顯微鏡(如下圖),我們一起來了解一下。
硅片缺陷檢測主要是表面檢測,這是我司根據客戶需求定制儀器,兩邊鏡頭同時觀察,成像數據可實時展示在顯示器上,匯光科技供應的硅片檢測顯微鏡主要有以下功能。
1、硅片厚度測量。硅片檢測顯微鏡有2個鏡頭,臥式鏡頭可測量硅片厚度。當然您若需要測量硅片均勻性還需要專用檢測設備。
2、硅片表面雜質檢測,硅片檢測顯微鏡放大倍數可達200倍,可清晰觀察產品硅片表面問題
3、硅片是否崩邊,缺角。通過旋轉硅片檢測顯微鏡的載物臺,我們可輕松觀察硅片邊緣部分缺陷。
隨著電子產品尺寸不斷縮小,半導體檢測設備也越來越多,目前,我司供應的半導體檢測設備除了硅片檢測顯微鏡,還包括半導體金相顯微鏡mx系列,晶圓搬送機,晶圓切割3D形貌檢測機,晶圓厚度形貌測量儀等半導體檢測設備,感興趣的朋友可來我司試樣選購哦。