晶圓檢查系統顯微鏡-12寸奧林巴斯晶圓檢查系統介紹
AL120-12奧林巴斯晶圓檢查系統對應可使用FOUP（裝載口）和FOSB，常用于低成本的后期檢查。12寸奧林巴斯晶圓檢查系統安全且符合人體工程學的設計，確保了操作人員在搬送晶圓時（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和安全。
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統主要特性：
●堅固、可靠和安全傳送
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統延續了上一代機型的堅固性、可靠性和安全性，能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓，且薄片，Warped晶圓也能安全搬送。
●人機工程學設計，操作方便
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統可以自由設置的檢查模式，在設計上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設備的操作簡便性。分別對應FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機型。
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統宏觀觀察位置的最優化和操作單元的集中排列，提高了設備的操作性。
自動300 mm晶圓檢查系統 AL120-12 技術規格
型號 | AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F |
晶圓尺寸 | 300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm | |
卡盒數 | 單盒（裝載、卸載兼用） | |
卡盒設置高度 | 900 mm | |
裝載端口 | 有 | 無 |
搬運順序 | 表面宏、內面宏、顯微鏡檢查 | |
檢查模式 | 全部檢查、抽樣檢查 | |
晶圓校準 | 非接觸式中心環 | |
晶圓搬運方式 | 真空吸附機械搬運 | |
適用顯微鏡 | 半導體檢查顯微鏡MX61L | |
應用環境 | AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz ，真空-67～-80 Kpa | |
載物臺 | XY手動吸附載物臺，有XY粗調／微調和360度旋轉機構 | |
重量（不包括顯微鏡） | 約360 kg | 約270 kg |
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