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          半導體金相顯微鏡
          正置式半導體檢查顯微鏡
          正置式半導體檢查顯微鏡

          產品型號:MX系列
          發布時間:2018-6-8 16:25:00
          訪問次數:936 次

          半導體金相顯微鏡-正置式半導體檢查顯微鏡介紹

          正置式半導體檢查顯微鏡MX8R采用研究級顯微鏡RX系列的新照明系統和光學系統,照明均勻,成像清晰。突破性的大金相機架設計,可承載8英寸超大工作平臺,穩固創新的機械結構更好的滿足專業市場需求。

          明場觀察(透射)

          5W大功率LED,配以N.A.0.5聚光鏡,可以透照明下,觀察LCD彩色液晶顯示屏,器件框架邊緣等。

          透射照明與反射照明為獨立控制,即可同時亮,也可單獨亮。

          LCD 10X透射光

          明場觀察(反射)

          遠心坷拉反射照明系統,配以全新設計的無限遠平場消色差長工作距金相物鏡,從低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、明亮的高畫質顯微圖像。

          集成電路5X 明場                                                    集成電路100X 明場


          簡易偏光觀察

          將起偏器鏡及檢偏鏡插板插入照明的指定位置,即可進行簡易偏光觀察。檢偏鏡可分為固定式和360°旋轉式兩種。

          PCB橫截面 20X 偏振光


          暗場觀察

          將暗場照明拉桿拉到指定位置,即可使用暗場功能,可以觀察物體表面的各種劃痕、雜質點及其他細微缺陷,暗場功能只限于MX8R機型。

          FPC 10X 暗場

          DIC微分干涉觀察

          在正交偏光的基礎上,插入DIC棱鏡,即可進行DIC微分干涉相襯觀察。使用DIC技術,可以使物鏡表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果,極大的提高圖像的對比度。

          5X、10X、20X專為DIC設計,使得整個視場的干涉一致,微分干涉效果非常出色,高倍物鏡DIC效果也較好。

          導電粒子 20X DIC                                      晶圓  50X DIC


          半導體檢查顯微鏡 MX8R產品尺寸圖

          半導體檢查顯微鏡MX8R技術規格

          光學系統

          無限遠色差光學系統

          觀察方式

          明場/暗場/偏光/DIC

          觀察筒

          30°傾斜,正像,無限遠鉸鏈三通觀察筒,曈距調節:50-76mm,分光比:100:0或0:100

          30°傾斜,倒像,無限遠鉸鏈三通觀察頭,曈距調節范圍50-76mm,三檔式分光比:0:100或20:80或100:0

          目鏡

          高眼點大視野平場目鏡PL10X/25mm,視度可調,可帶單刻度十字分劃板

          高眼點大視野平場目鏡PL10X/26.5mm,視度可調,可帶單刻度十字分劃板

          物鏡

          明暗場半復消金相物鏡(5X、10X、20X、50X 、 100X)

          無限遠長工作距平場明暗場消色差金相物鏡(5X、10X、20X、50X 、 100X)

          轉換器

          明暗場五孔轉換器,帶DIC插槽

          明暗場、明場六孔轉換器,帶DIC插槽

          明場七孔轉換器,帶DIC插槽

          調焦機構

          反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程33mm,微調精度0.001mm ;帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置;內置100-240V寬電壓系統,帶光亮度設定暗扭與復位按扭

          明暗場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心均可調;帶明暗場照明切換裝置;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

          載物臺

          8英寸三層機械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調節;平臺面積525mmx330mm,移動范圍: 210mmx210mm ;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動;玻璃載物臺板,(反射用)

          反射照明系統

          明暗場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心均可調;帶明暗場照明切換裝置;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

          攝影攝像

          0.5X/0.65X/1X攝像接筒,C型接口,可調焦

          其他

          起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,360°旋轉式檢偏鏡插板;DIC微分干涉組件;反射用干涉濾色片組;高精度測微尺

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