提供可靠數據的先進技術

1、3D測量激光顯微鏡OLS5000可檢測細微紋理和缺陷，有準確的橫向分辨率。3D測量激光顯微鏡OLS5000采用405納米紫色激光和專用高數值孔徑可以捕捉到傳統光學顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡無法發現的精細紋理和缺陷。

2、奧林巴斯掃描技術。全新研發的MEMS掃描振鏡，能夠實現具有較低掃描軌跡失真和極小光學像差的精確X-Y掃描。某些激光顯微鏡無法避免視場周邊區域測量值的波動，但是3D測量激光顯微鏡OLS5000無論是測量視場中間還是邊緣，均可獲得一致的結果。

3、檢測陡峭斜面和近納米級臺階的形貌。采用4K掃描技術可在X軸方向掃描4096像素，是傳統機型的四倍。由此提高了高度測量的可靠性，改善了分辨率，信噪比提升了兩倍。3D測量激光顯微鏡OLS5000無需圖像處理就能檢測幾乎垂直的陡峭斜面和極低的臺階。

4、快速，高精度的測量。3D測量激光顯微鏡OLS5000采用了用于3D數據構建的PEAK算法。該算法可獲得從低倍率到高倍率的高精度數據，并可縮短數據采集時間。

5、自動選擇數據采集的通道。3D測量激光顯微鏡OLS5000采用雙共焦系統，可采用不同孔徑的兩個共焦光學通道組成。根據鏡頭類型和數據采集模式選擇通道，實現可靠數據的快速采集。

6、Sq噪聲（測量噪聲）保證，可靠運行。Sq噪聲是對測量工具對高度檢測的分辨率的量化指標。3D測量激光顯微鏡OLS5000可保證測量噪音符合ISO25178-700標準的要求。采用MPLAPON100xLEXT物鏡時測量噪聲為1納米。

7、LEXT專用物鏡，針對405納米激光優化的物鏡。奧林巴斯可提供針對405納米激光減小像差的10x至100x系列物鏡。包括低倍率和長工作距離物鏡。所有LEXT專用物鏡均可確保測量性能，由此可以選擇滿足您觀察樣品的物鏡。

8、智能判定功能，捕捉真實形貌。由于傳統激光顯微鏡采用諸如圖像平滑處理的方式來消除噪聲，有時會將測得的正確的細微高度不規則數據連同噪聲一起消除。

3D測量激光顯微鏡OLS5000采用奧林巴斯自動檢測可靠數據的智能判定算法，可在不丟失細微高度不規則數據的情況下實現準確測量。

9、積極的可追溯性，實現可靠運行。為確保高質量的產品性能，3D測量激光顯微鏡OLS5000從物鏡到激光頭的每個組件均采用嚴格的生產系統制造而成。測量結果基于與國家工業標準相關的可追溯系統。在顯微鏡交付時，經驗豐富工程師將進行系統的最終調整和校準，根據您的應用將顯微鏡調整到上佳狀態。

10、保證準確度和重復性。測量工具的性能通常用準確度表示測量值與其真實值的接近程度，用重復性表示重復測量值的變化程度。奧林巴斯以基于可追溯系統的顯微鏡保證準確度和可重復性，從而讓您對測量結果充滿信心。

11、混合匹配算法。3D測量激光顯微鏡OLS5000的電動載物臺中包含一個長度測量模塊，奧林巴斯以此確保拼接圖像數據的準確性。盡管以前的激光顯微鏡也可根據圖案匹配拼接數據，但3D測量激光顯微鏡OLS5000能夠將長度測量模塊的位置信息添加到模式匹配中，以可擔保的精度獲得高可靠性的拼接數據。

12、提供特定于具體操作環境的測量性能擔保，值得您信賴的奧林巴斯性能標準。使用任何測量工具的關鍵在于能夠在其具體操作環境中實現上佳測量性能。如果工具性能僅通過出廠前的檢驗保證，而不考慮實際操作環境，那么該工具在安裝之后可能無法獲得相同效果。為了確保您能夠獲得所需的性能，奧林巴斯工程師將在您的操作環境組裝、調整和校準該工具。校準證書和檢驗結果僅在顯微鏡成功安裝后才會簽發，由此讓您將能夠充滿信心地使用該系統。

13、精度管理功能，簡單點擊一次即可完成設備檢查。在將測量結果記錄作為證據使用時，管理設備的狀態就非常重要。3D測量激光顯微鏡OLS5000提供校準功能，可在每次測量之前使用帶有校準證書的校準樣品(選配)對設備狀態進行校準。點擊一一個按鈕即可使用校準樣品完成校準工作，且校準結果將作為記錄添加到報告中。

14、混合式減振機構，穩定性和抗振性好。3D測量激光顯微鏡OLS5000配有采用螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的減振裝置穩定操作環境。

15、全球服務體系,即世界各地的服務站點。奧林巴斯提供全球技術支持(日本、美國、德國，中國、韓國、新加坡、臺灣、印度和澳大利亞)。每個服務地點均配有擁有激光顯微鏡技術許可證的工程師，以及經過驗證的校準系統，以此確保產品安裝后的可靠使用。

人性化的高分辨率、高倍率觀察

1、實時宏觀測圖，跟蹤樣品位置。當載物臺移動時，系統生成的全景宏觀地圖將實時對移動路徑上的圖像進行拼接，幫助用戶找到樣品宏觀地圖也可插入到報告之中，將樣品的放大圖像與其整體圖像的位置相關聯。

2、連續自動對焦，解決聚焦難題。顯微鏡的連續自動對焦功能可較大程度減少手動調整需求，在位置搜索或更換物鏡時可讓圖像始終保持對焦狀態。保持聚焦跟蹤可讓用戶能夠快速可靠地進行觀察操作。

3、用于納米級實時觀察的微分干涉顯微鏡（DIC），檢測納米級不規則形狀。微分干涉顯微鏡（DIC）可用于觀察通常超出激光顯微鏡分辨能力的納米級表面輪廓，甚至使用5x或10x低倍率物鏡也沒有問題。得益 于其DIC激光模式，LEXT?OLS5000激光顯微鏡即便在相對較低的倍率下也能夠獲得與電子顯微鏡相當的實時圖像。納米級劃痕和缺陷的實時觀察有助于顯微鏡對相當細微的損傷進行成像。

4、彩色高動態光照渲染（HDR）觀察，實現更加清晰的觀察。利用顯微鏡的高動態范圍（HDR）功能實時觀察低對比度或存在 光暈的樣品上的細微形狀。HDR以不同的曝光捕捉多個圖像并將其進行合成。

5、雙模式觀察，彩色及激光觀察。用戶可同時觀察激光圖像和高分辨率彩色圖像。該方法可用于評估顏色差異或金屬表面的腐蝕情況，以及在極低對比度的樣品（如鏡面或薄膜）上聚焦時。

高級智能掃描Ⅱ功能

1、智能掃描 II，按下啟動按鈕即可進行全自動3D數據采集。使用激光顯微鏡獲取數據時需要進行手動調整，但奧林巴斯的“智能掃描II”可以自動執行這些調整，從而較大程度減小采集數據的差異，提高工作效率。其智能體現以下幾個方面：

●掃描速度。奧林巴斯的PEAK算法和雙向掃描測量速度比傳統激光顯微鏡快 四倍。光檢測靈敏度和數據采集范圍再無必要，由此大大地提高了工作效率。

●跳躍掃描。在測量存在近似垂直面（如電子器件或MEMS）樣品上的臺階形狀時，可通過限制Z方向掃描范圍 縮短數據采集時間。在不降低精度的情況下，測量700 μm的臺階大約在15秒左右（使用MPLAPON20x時）。

●HDR掃描（雙重掃描）。根據樣品和物鏡情況，并非總是能夠獲得準確的形狀數據。 3D測量激光顯微鏡OLS5000配有能夠根據每個樣品要求進行調整的自 動判別系統。HDR掃描通過改變檢測靈敏度的方式獲取兩組形狀數據，并利用其構建準確的形狀數據。

2、豐富的數據采集模式，能夠進行各種測量。3D測量激光顯微鏡OLS5000擁有多種數據采集模式可供選擇。這其中包括可在單視場內同時獲取彩色圖像、激光圖像和3D形狀數據的1-區模 式、獲取視場中心單線形狀的1-線模式以及可測量薄膜厚度的薄膜厚度模式，如下圖。

3、拼接模式，實現寬視場的高分辨率測量。通過在平面方向拼接數據方式可獲得高達3600萬像素寬視場的準確數據。 可在宏觀地圖上輕松指定目標區域。 指定的拼接區域可保存留待以后導 入。

4、上表面檢測濾色片，分析透明薄膜的上表面形狀。

當透明薄膜放在樣品表面上時，激光顯微鏡可利 用最高反射光強度檢測界面。上表面檢測濾光片 利用偏振特性輔助上表面形狀檢測。

5、頻帶掃描。在有限目標區域使用1-區域薄膜厚度模式時，頻帶掃描可以改變Y方向的數據大小，從而以更高速度獲取目標區域的數據。

6、超高清（UHD）模式。它在光學分辨率大于單個像素尺寸時非常有用。其可在不增加鏡頭或變焦倍率的情況下準確捕捉到細微形狀。

由于字數限制，更多關于OLS5000顯微鏡功能特點介紹請繼續瀏覽3D測量激光顯微鏡OLS5000功能特點（二），由此給大家帶來的不便還請見諒，謝謝??！